Китайская Hwatsing Technology интегрировала измерительные системы в процесс полировки кремниевых пластин

Китайский производитель оборудования для полупроводниковой промышленности Hwatsing Technology внедрил контрольно-измерительные модули непосредственно в установки химико-механической полировки (CMP) кремниевых пластин. Как сообщает South China Morning Post со ссылкой на компанию, впервые в отечественной отрасли замеры параметров пластины стали возможны прямо в процессе её обработки, что ускоряет технологический цикл и повышает качество полупроводниковых материалов.

Технологический прорыв в процессе CMP

Химико-механическая полировка (CMP) — ключевой этап производства полупроводников, на котором кремниевая пластина доводится до сверхгладкого и плоского состояния перед наносением слоёв схем. Новая система Hwatsing позволяет измерять 6-дюймовые (150-мм) пластины в реальном времени до и после полировки. Данные мгновенно передаются в систему управления для обнаружения дефектов и корректировки параметров процесса с обратной связью.

По словам представителей компании, такая интеграция измерительного оборудования (metrology) в кластер полировки обеспечивает более высокую однородность пластин и сокращает объём брака. Инновация предназначена для зрелых технологических процессов и пока не применима к выпуску самых передовых чипов, требующих пластины большего диаметра.

Рыночные позиции и первые поставки

По оценкам аналитического агентства Bernstein, за прошедший год китайские поставщики заняли около 21 % внутреннего рынка оборудования для обработки кремниевых пластин. В узком сегменте полировки доля местных производителей достигла 39 %. Hwatsing Technology контролирует приблизительно 85 % китайского рынка в своей нише и претендует на 37 % глобального рынка — колоссальный скачок по сравнению с 2018 годом, когда доля компании не превышала 1 %.

Первые образцы новой комплексной системы уже отгружены крупному китайскому поставщику материалов для работы с кремниевыми пластинами. Оборудование найдёт применение при производстве силовой электроники, датчиков и микроэлектромеханических систем (MEMS).

Сфера применения и текущие ограничения

Новые полированные пластины диаметром 150 мм будут использоваться преимущественно в зрелых технологических процессах. Соответствующие компоненты широко востребованы в:

• электромобилях и системах управления двигателями;
• промышленных роботах и автоматизации;
• потребительской электронике;
• телекоммуникационной инфраструктуре.

При этом эксперты Bernstein подчёркивают: несмотря на прогресс в смежных процессах (полировка, очистка, осаждение), в литографии китайские поставщики пока не могут предложить жизнеспособной альтернативы оборудованию нидерландской ASML. Доля местных вендоров контрольно-измерительного оборудования для литографии на китайском рынке не превышает 10 %, хоть выручка в этом сегменте и выросла на 63 % за год.

Стратегическое значение для отрасли

Успех Hwatsing Technology демонстрирует, как Китай поэтапно закрывает технологические бреши в цепочке поставок полупроводников. Пока всеобщее внимание сосредоточено на битве за литографические сканеры (DUV/EUV), прогресс в базовых операциях — полировке, травлении, осаждении — позволяет наращивать долю отечественного оборудования и снижать зависимость от импорта в критически важных сегментах, таких как силовая электроника и сенсорика для новой энергетики и транспорта.